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信息标题: 光谱仪的微小型化
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信息标题: 光谱仪的微小型化
所属栏目: 工学论文
发布时间: 2010-01-01
信息简介: 微光学、微电子、微机械的结合产生出一类新的应用范围很广的器件——微型光机电系统(MOEMS),它也是机、电、光、磁、化学、传感技术等多种技术的综合。MOEMS日益成为新的光学工具,已经对许多基于光学的仪器显示出应

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